据台媒《工商时报》报道,英特尔为了在半导体市场重拾竞争力,近日在年度IEEE国际电子元件会议(IEDM)上发表多项新一代电晶体微缩技术突破,其中最大亮点,是芯片背部供电及直接背部接触的3D堆叠互补金属氧化物半导体(CMOS)电晶体,有助英特尔朝4年5节点的目标迈进。随着电脑计算需求急速扩大,英特尔近年不断设法延续摩尔定律,并订下4年5节点的计画,宣称未来新芯片设计的规格单位将不再局限于纳米,而是进入埃米时代( Angstrom Era)。英特尔先前已宣布明年推出的20埃米(20A)节点将运用新一代RibbonFET技术,这次在IEEE国际电子元件会议上又发表更新技术,那就是芯片背部供电及直接背部接触的3D堆叠CMOS电晶体。英特尔在会中展示,这项创新技术能在小至60纳米的微缩闸极间距垂直堆叠互补场效电晶体(CFET),大幅提升空间效率。英特尔表示,芯片背部供电及直接背部接触的3D堆叠CMOS电晶体能将处理器电力互连元件移至芯片背面,换言之芯片正面能容纳更多数据传输元件,况且电力互连元件的体积也能扩大,相对减少电阻。事实上,英特尔早在两年前就为3D堆叠CMOS电晶体申请专利,但在今年5月ITF World大会上才首度公开3D堆叠电晶体研发计划。英特尔近日公布的制程技术蓝图一再强调电晶体微缩技术创新,其中PowerVia芯片背面供电技术已经预定明年量产。
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