据韩媒《The ELEC》报道,三星2020年开始在平泽市兴建P3晶圆厂,2022年5月开始安装设备持续到7月,较计划时间提早一个月,下半年将完成建设。三星平泽市P3晶圆厂占地70万平方米,将成为全球最大的晶圆厂厂区,是三星P2晶圆厂的1.7倍。投资也相当庞大,几年内最少投资30万亿韩元,最多50万亿韩元,相当于240亿至400亿美元。平泽晶圆厂将大量采用极紫外光曝光设备(EUV)生产,NAND Flash闪存产线使用EUV生产第七代176层堆叠V-NAND闪存,晶圆代工生产3纳米产线也需要EUV帮助生产。
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