三星韩国平泽P3晶圆厂下月装机,最先生产NAND芯片

2022-04-26
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据韩媒《The ELEC》报道,三星2020年开始在平泽市兴建P3晶圆厂,2022年5月开始安装设备持续到7月,较计划时间提早一个月,下半年将完成建设。

三星平泽市P3晶圆厂占地70万平方米,将成为全球最大的晶圆厂厂区,是三星P2晶圆厂的1.7倍。投资也相当庞大,几年内最少投资30万亿韩元,最多50万亿韩元,相当于240亿至400亿美元。
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三星平泽市P3晶圆厂为既生产存储又有逻辑芯片代工。最先生产的将是NAND Flash闪存,之后是DRAM,最后上线的是3纳米制程晶圆制造与代工产线,因此5月第一周设备安装将从NAND Flash闪存设备开始。
平泽晶圆厂将大量采用极紫外光曝光设备(EUV)生产,NAND Flash闪存产线使用EUV生产第七代176层堆叠V-NAND闪存,晶圆代工生产3纳米产线也需要EUV帮助生产。

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