涉及光刻胶、存储器等，上海「科技创新行动计划」项目公示 ssd新闻存储新闻

2022-09-06

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9月5日，上海市科学技术委员会公示上海市2022年度「科技创新行动计划」集成电路领域拟立项项目，公示期为9月5日至9月9日。

据悉，拟立项项目共9个，包括「面向化合物半导体生产工艺的分子束外延装备及核心部件研制」、「基于有机无机杂化金属氧化物的EUV光刻胶干法制备关键技术研究」、「新型柔性存储器及存算一体技术研究」等。

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