ASML、三星建研发中心，韩媒：对下代存储制程开发很重要 ssd新闻存储新闻

2023-12-15

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据韩媒BusinessKorea报道，韩国三星电子和荷兰半导体设备龙头ASML已签署备忘录，将共同投资7亿欧元，在韩国打造半导体技术研发中心，目标是开发下一代EUV光刻技术的超精细制程和设备。

报道指出，两间公司具体投资金额尚未公布，研发中心可能选址京畿道华城，因为三星和ASML都有半导体生产基地。目前ASML正在建设华城新园区，于三星半导体厂附近投资2400亿韩元，占地16000平方公尺，计划2024年底完工。据悉，该园区将包括EUV和DUV设备元件的再制造中心和培训中心。

报道表示，三星期盼透过改善EUV光刻设备制程来实现良率，ASML则决定与三星合作，获得下一代存储光刻制程的专业知识。

业界认为，存储和设备领域龙头间的联盟意义重大，EUV对代工厂的制程至关重要，也成为DRAM制程的关键技术。DRAM从14纳米制程开始，由于产量和生产成本问题，必须开始使用EUV设备，因此EUV联盟对开发下一代存储制程相当重要。

汉阳大学融合电子系教授Park Jae-keun认为，至少在未来10年内，DRAM生产将需要应用EUV制程。由于三星、SK 海力士和美光这前三大存储公司间的EUV竞争才刚开始，三星与ASML的合作有望暂时保持在市场上的主导地位。

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