东京威力科创/东京电子(Tokyo Electron)为了追赶泛林集团(Lam Research),成功开发出可生产400层3D NAND闪存的设备,预估该技术可以为公司带来数十亿美元的净收入。生产3D NAND需要专门的设备,目前主要由美国公司泛林集团控制。东京电子开发出全新蚀刻技术,首次将电蚀刻应用带入到低温范围中,并创造性地发明了具有极高蚀刻速率的系统。东京威力科创表示这种技术对环境的有害影响也非常小,公司预估客户安装调试完成之后,可以在未来2-3年内开始生产400层3D NAND存储器;预估到2027年该领域产能比今年翻两番,达到20亿美元。
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