陶氏化学厂爆炸，恐影响成熟制程晶圆代工 ssd新闻存储新闻

2023-07-18

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据路透社报道，陶氏化学美国路州厂在美东时间15日传出爆炸起火事件，虽无人伤亡，惟该厂生产光阻剂、抛光垫／液等半导体关键耗材，主要供成熟制程晶圆制造使用，牵动业界神经，联电、世界、力积电等台湾晶圆代工成熟制程相关厂商密切关注后续发展，目前均评估不影响生产。

陶氏化学为全球半导体关键化学材料重要供应商，高纯度化学品产品线提供一系列光阻材料，包括光阻剂、光阻辅助剂等，也供应全球重要的CMP材料包括抛光垫、抛光液等。

从产业地位来看，陶氏化学在全球光阻剂市占率约17%，CMP抛光垫市占79%，CMP抛光液市占率约15%左右。

半导体业界人士表示，陶氏化学光阻剂主力应用在成熟制程，对先进制程影响相对有限，对成熟制程影响有待观察，并牵动非半导体的其余化学品耗材。

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