据韩媒报道,有消息称SK Siltron已开始供应新一代存储器用晶圆给三星电子、SK海力士等,期望打破日本业者寡占局面,加速推动韩国半导体材料自产化大业。报道称,SK Siltron已于6月完成10nm级第四代(1a)DRAM的抛光晶圆开发,预计2022年下半起开始供应三星、SK海力士等。三星、SK海力士已在第四代(1a)DRAM导入极紫外光(EUV)制程。据了解,SK Siltron加入供应之前,只有日本胜高和信越化学能够供应,2021年下半量产1a DRAM的三星、SK 海力士,先前仅使用日本生产的晶圆。相关人士表示,1a DRAM占比不断提高的情况下,SK Siltron研发成功与量产,无疑帮助韩国实现材料供应链多元化,从韩国国产化大业角度而言别具意义。SK海力士传计划2022年底前1a DRAM占比将提升至产量的4分之1左右。
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