SK海力士计划今年投资15亿美元，采购8台极紫外光微影设备（EUV)。

目前SK海力士拥有5台EUV，新采购的设备将用于转换到第五代的DRAM工厂。

2021年SK海力士第一次开始使用EUV，如果今年完成8台，届时将拥有13台先进的EUV设备，今年的投资计划中，EUV采购占据到四成左右。

从第4代DRAM（1a）生产线开始，EUV就是不可或缺的生产设备。去年5月，SK海力士完成了DRAM 10nm第五代（1b）制程的开发，计划进一步扩大该制程的使用。

SK海力士的无锡工厂DRAM产能占据整体的40%，目前调整到第四代DRAM生产线，需要这些设备生产。

由于设备无法进口到中国，SK海力士已经决定将晶圆空运回韩国，在今年进行必要的EUV设备调整。

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