默克将与美光合作开发半导体产业气体解决方案

2022-08-09
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据台媒《经济日报》报道,默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。 

默克表示,经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高GWP材料,目标在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料,以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

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