中芯国际扩大采购DUV设备，提升成熟制程 ssd新闻存储新闻

中芯国际扩大采购DUV设备，提升成熟制程

2021-12-28

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据台媒《科技新报》消息，中国半导体企业专注采用DUV（深紫外光）曝光技术的半导体生产技术发展，原因是国内半导体企业受制国际协定，仍无法购买生产更先进半导体制程的EUV（极紫外光）曝光设备。

国内最大晶圆代工厂中芯国际近日决定，将荷兰半导体设备厂ASML合约延长至2022年，并增加DUV设备进口。而据《中国经济日报》报道，中芯国际增加采购ASML的DUV设备，是为了提高利用DUV曝光设备生产半导体的技术竞争力。

此外，中芯国际已决定到2023年前，斥资110亿美元扩大深圳上海DUV生产线。媒体报道，国内半导体企业使用ASML的DUV设备约1000件。为了满足需求，国内半导体企业正加紧从日本半导体设备企业购买二手设备。日本经济新闻报道，中芯国际等国内半导体企业因积极从日本半导体设备商购买二手半导体设备，使二手半导体设备市场近期大幅成长。

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