据台媒报道，陆美科技战愈发激烈，大陆半导体产业自主化的呼声也开始被市场看见，从资本支出也能比较出，一家半导体企业对于研发的重视程度。然而，根据研究报告指出，半导体设备大厂荷兰商ASML2019年营收118.2亿欧元，来自大陆营收贡献12%，若只算大陆企业，更只有7.8%。

ASML所独家提供的EUV光刻设备，是晶圆代工大厂追求先进制程不可或缺的设备。在2019年第四季度财报揭露，该季完成8台EUV机台出货，同时也接到9台EUV机台订单，于2019 年总计从EUV机台订单获得62 亿欧元，创下历史新高纪录。

若按照ASML销售额来看，2019年来自大陆地区的营收为12%，主要来自三星、英特尔、SK海力士、台积电在陆厂区增添新设备为主，若仅剩大陆企业，则是仅占ASML总营收的7.8%。

台积电在去年底就宣布，2020年全年资本支出为110~120亿美元，创下历年来新高纪录，但在今年1月的法说会上，台积电再度上调年度资本支出至150~160亿美元，虽后有新冠肺炎疫情冲击，但台积电仍坚持维持资本支出，展现对先进制程研发的决心。

对此，台积电在先进制程最大竞争对手三星，已经在 2020 年的 1 月 15 日向ASML以 33.8 亿美元下单20台EUV光刻设备，这些设备将用于晶圆代工与下一代 DRAM 生产。

大陆目标为大陆半导体自给率达70％，大陆半导体需求居全球之冠，但目前也仅有20%自给率，大陆晶圆代工龙头中芯国际想取得ASML的EUV机台，也受到美国政府限制，至今仍无法顺利出货。中芯国际也将在科创板上市，日前筹资200亿元人民币，来建造14奈米12晶圆生产线，成为解决大陆半导体需求的希望之一。

大陆集成电路产业投资基金 (National Integrated Circuit Industry Investment Fund)砸大钱补助发展，但从采购半导体设备来看，大陆半导体产业与其他地区的竞争对手还有一大段落差。

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