6月17日,台积电在 2022年技术研讨会上介绍了关于未来先进制程的信息,N3工艺将于2022年内量产,后续还有N3E、N3P、N3X等,N2(2nm)工艺将于2025年量产。N2方面,台积电称这是其第一个使用环绕栅极晶体管 (GAAFET) 的节点,而非现在的FinFET(鳍式场效应晶体管)。新的制造工艺将提供全面的性能和功率优势。在相同功耗下,N2比N3E速度快10~15%;相同速度下,功耗降低25~30%。不过,与N3E相比,N2仅将芯片密度提高了10%左右。N2工艺带来了两项重要的创新:纳米片晶体管(台积电称之为GAAFET)和backside power rail。GAA纳米片晶体管的通道在所有四个侧面都被栅极包围,从而减少了泄漏;此外,它们的通道可以加宽以增加驱动电流并提高性能,也可以缩小以最大限度地降低功耗和成本。为了给这些纳米片晶体管提供足够的功率,台积电的N2使用backside power rail,台积电认为这是在back-end-of-line (BEOL) 中对抗电阻的最佳解决方案之一。
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