据Business Korea报道,SK Materials日前宣布已开始大规模生产用于半导体制造的高纯度氟化氢气体。
图源:Business Korea
据悉,韩国此前一直向日本进口高纯度氟化氢,不过日本政府在去年7月将出口至韩国的三项材料(氟聚酰亚胺、光刻胶、氟化氢)列入了管制清单,这致使韩国半导体公司不得不寻找可替代的方案。
该报道称,SK Materials去年年底成功开发了超高纯度氟化氢气体的原型,并在庆尚省北部的荣州工厂建造了一个15吨的生产设备,目标是到2023年将本土化率提高到70%。
此外,该公司还计划投资400亿韩元建造一个生产光刻胶的工厂,光刻胶是另一项受日本出口限制的产品。据报道,该公司正在为工厂选址,目标是明年建成并预计从2022年开始每年生产5万加仑的光刻胶。
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2020-06-19
2020-06-18