据闪德资讯获悉,为突破10nm以下制程微缩瓶颈,三星与SK海力士两大巨头正研发下一代DRAM制造工艺,争夺行业主导权。
随着制程节点不断缩小(如10nm以下的1c节点),电容器的尺寸难以继续缩减,晶体管间距缩小也增加了短路风险。
为了让密度进一步提升,行业正转向3D DRAM,将传统2D平面排列的DRAM单元改为垂直或立体堆叠架构的内存技术。
原理类似3D NAND闪存,通过改变晶体管排列方向(如水平放置)或垂直堆叠,在缩小制程时保持电容器容量。
在技术实现方面,三星和SK海力士已分化出不同发展路线。
三星方面计划推广GAAFET工艺,在DRAM中,三星必须将GAAFET晶体管与电容器整合在同一单元内。
三星考虑借鉴NAND闪存的设计,把负责读写操作的控制电路置于存储阵列下方。
而SK海力士采用的是4F2架构,该方案将晶体管垂直堆叠,同样用栅极材料包裹晶体管,而接收电容数据的组件则置于晶体管柱下方。
这种结构与GAAFET有相似之处,但空间布局逻辑完全不同。
两大巨头虽然路线分化,但核心目标一致:率先实现技术量产,推动自家方案成为下一代DRAM的行业标准,主导AI时代的存储市场。
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